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| 字段描述 | 字段取值 | 取值描述 |
|---|---|---|
| 位数 | 04 | 4位 |
| 系统/通口规格 | A | 系统:真空发生器系统;通口规格:Φ8(共通PV) |
| 排气方法 | 1 | 集中排气(直接排气,端板排气) |
| 供给阀·破坏阀配线方法 | F | D型辅助插头 |
| 可选项 | - | 无可选项 |
| 集装式组装 | A | 集装式端板组件 |